第1364章 膜厚控制(2 / 4)

张红旗问:“原价多少?”

“一批三百二十万美元,现在要四百八十万。”

张红旗没犹豫:“买。二十四小时内发货,到不了货换供应商。”

钱院士说:“国内没有替代供应商,这个纯度只有住友和德国贺利氏能做。”

张红旗说:“那就让他们发。钱的事我来办。”

挂了电话,张红旗打给刘浩。

刘浩在京城,刚从北影厂出来。

“浩子,走个账。四百八十万美元,从香港账户出,打到住友化学的指定账户,今天之内到。”

刘浩问:“什么钱?”

“材料费,不多问。”

刘浩说:“行,我让陈默那边办。”

当天下午,陈默在香港操作。钱从瑞士账户转到香港,再从香港打到东京。四个小时,到账。

住友收到款,田中签了发货单。钼靶材从横滨港装船,走海运,三天到鹏城。

八月八号,材料到了。

钱院士没急着装料。他带着团队蹲在溅射设备前,干了一件事。

改机器。

小周把设备的控制电路板拆出来。钱院士拿着手册上的参数,在白板上画了一个补偿模型。

“设备精度不够,用软件补。”

他让三个博士生把实验楼地下室的模拟集群调出来——四十台服务器,全部接上——跑了一个补偿算法。

思路很简单:设备硬件做不到零点零二纳米的精度,就在每一层镀膜的过程中用传感器实时采集数据,反馈到算法里,算法即时修正下一步的沉积参数。

等于让一个手抖的人,靠一套自动修正系统,画出一条直线。

八月九号,凌晨两点,补偿参数跑出来了。

小周把参数灌进设备控制系统,重启。

溅射设备嗡嗡响了起来。

钱院士站在无尘室的观察窗外,看着里面。

第一层钼膜,沉积开始。

传感器采集,数据回传,算法修正。第二层硅膜,沉积,采集,修正。

一层钼,一层硅,交替沉积。

euv反射镜面需要四十对钼硅多层膜——八十层,每层厚度不到七纳米。

八月十号,下午三点,八十层镀完。

小周从无尘室里出来,手里端着一块圆形基片,直径十五厘米,表面泛着金属光泽。

钱院士接过来,

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