第1364章 膜厚控制(3 / 4)

放在检测台上。

椭偏仪启动,激光打在镜面上,反射,探测器接收。

数据出来了。

小周看着屏幕,念数:“单层膜厚度误差,零点零三五纳米。”

钱院士没说话。

手册要求零点零二,他们做到了零点零三五。没达标,但比原来的零点零八好了一倍多。

“反射率呢?”

小周切换到下一组数据:“十三点五纳米波长,反射率百分之六十二点三。”

钱院士看着这个数字。

手册上蔡司的指标是百分之六十七,差了不到五个点。

但是,euv光刻机的最低工作门槛是百分之六十。

他们过线了。

钱院士走到角落,拿起电话。

“红旗,光打通了。”

张红旗在煤市街的院子里,正看着陈默送来的一份报告。

“什么意思?”

钱院士声音平稳:“极紫外光源,十三点五纳米,穿过反射镜面,形成了稳定光束。参数达到了euv光刻的最低发光标准。”

张红旗把手里的报告放下。

“钱老,您确认?”

“仪器记录的,白纸黑字。反射率百分之六十二点三,过了百分之六十的门槛。”

张红旗站了起来,走到院子里。槐树叶子在夜风里晃。

“这是第一步。”

钱院士说:“是第一步。后面还有光源系统、物镜组、工件台、掩模版,每一项都是硬骨头。但镜面这关,算是过了。”

张红旗说:“钱老,辛苦了。数据锁好,不要外传。”

“放心。”

挂了电话。

张红旗回到书房。桌上摊着麦佳佳从洛杉矶发来的一份行业报告。

他坐下来,翻到第十四页。

全球宽带网络用户增长曲线。

二零零一年底,全球宽带用户五千万;二零零二年中,八千万;预计年底突破一点二亿。

增长率,年化百分之一百四十。

张红旗盯着这条曲线。

他翻到下一页。中国市场,宽带用户从年初的三百万半年涨到六百万,网吧数量突破十万家。

他合上报告,拿起笔,在笔记本上写了一行字。

“宽带,内容,平台。”

他划掉了“平台”两个字,又写上。

“先做内容

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