让众人惊喜的是热管理子系统！
文档中提出在镜体内部嵌入微通道水冷结构，搭配耐高温的钼铼合金基底，既能承受等离子体的高温冲击，又能避免温度过高导致多层膜脱落。
「我们最担心的『高温损伤』问题，这套方案竟然连水冷通道的直径、水流速度都算好了！」
材料组的工程师翻到工艺参数页，激动地说道。
「对了，林工！这个梯度涂层的方案，从钼硅多层膜到二氧化硅保护层，每层的厚度误差控制在01纳米以内，还得用脉冲雷射沉积法分80次沉积，这精度咱们的设备能达到吗？」
有人面露难色地担忧道。
林南皱起眉头，看向设备组的主任工程师问道：「蔡司镀膜机在恒温恒湿环境下，能不能把精度稳定控制在005到01纳米之间？」
设备组的主任工程师想了想，非常严谨地回答道：「连续沉积10层钼硅膜，厚度误差最小004纳米，最大009纳米，刚好能满足方案要求。
但问题是，每次换靶材、调整雷射功率时，误差会出现012到015纳米的波动，80次沉积下来，累积误差可能会超标。」
林南思索片刻，给了一条解决思路：「那就加一道实时校准的流程，算法组先开发一套膜厚监测程序，跟镀膜机的传感器联动，每沉积10层，就自动暂停，用电子显微镜扫描膜厚。
根据实测数据调整下一轮的雷射功率和沉积时间，把单次误差控制在005纳米以内。
另外，在镀膜机周围加一圈恒温罩，避免温度的负面影响。」
其他人闻言，顿时豁然明悟。
林南毕竟是沪城光学精密机械研究所的高级工程师，能力和技术兼而有之，又是胡锐晖极力推荐的人才，关键时刻能拿出行之有效的方案倒也正常。
事实上，在陈延森看来，像林南等人，智商、领悟力和创造力都不错，但苦于接触不到euv光学的顶尖技术，这才像是鬼打墙似的，一直绕弯路。
若是能拥有同等的科研环境，林南未必开发不出一套收集镜系统，可很多事终究没有如果。
而陈延森能搞定这项技术，靠的也是远超常人百倍的精神力，以及能让他进入超频思维状态的【普朗克时钟】天赋。
不然以他原本的能力，或许也能突破这项技术，但要花费的时间，绝对不止半个月。
在拿到「多壳层掠入射椭圆收集镜系统」的技术方案后，星源科技光学