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第1357章 准备好了?(1 / 4)

五月八号。

荷兰,费尔德霍芬。

asl总部。

一栋灰色的方形建筑,门口竖了两块巨幅广告牌,蓝底白字。

“euv:the future of seductor anufacturg”

发布会定在上午十点。九点半人就到齐了。

三百多人,坐满了报告厅。

路透、彭博、金融时报、华尔街日报、日经新闻、法兰克福汇报——全球科技口的记者来了一半。

摄像机架了两排,闪光灯试了又试。

范德贝尔穿了件深蓝西装,白衬衫,没打领带。

他站在后台,助手递过来一杯水,他喝了一口,放下。

“准备好了?”

助手点头。

十点整,灯暗了。

范德贝尔走上台。

身后是一块十二米宽的led屏,屏上一行字。

“euv alpha deo unit — first light”

掌声。

范德贝尔没废话。

“今天,我给各位看一样东西。”

屏幕切换,实时画面——隔壁的洁净室。

一台机器占了半间屋子,银白色外壳,管线密密麻麻。

范德贝尔拿起遥控器,按了一下。

洁净室里,工程师启动程序。

嗡的一声。

机器亮了。

屏幕上跳出一组数字。

光源功率:62瓦。

波长:135纳米。

曝光均匀性:992。

报告厅安静了三秒。

然后掌声炸了。

范德贝尔站在台上,等掌声停了。

“62瓦。各位,我们原定的目标是50瓦,今天的实测数据超出了百分之二十四。”

台下记者开始举手。

范德贝尔摆了摆手。

“问题等会儿再说,先看完。”

屏幕上切出第二组数据。

分辨率测试:45纳米线宽,清晰,没有畸变。

第三组,套刻精度:32纳米。

范德贝尔指着屏幕。

“这意味着,euv光刻技术从实验室走向了工程验证阶段。我们距离量产只差最后一步。”

掌声又起来了。

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