曲线，蓝色是钱院士根据物理模型反推的实际曲线。
两条曲线在2005年之后开始分叉。
越往后，差距越大。
钱院士盯着屏幕，手里的粉笔攥了很久。
“他们的散热方案有问题。”
三个博士凑过来看。
钱院士指着分叉点：“euv光源功率从十瓦往上走，到五十瓦，再到两百瓦，锡滴靶材的等离子体温度会指数级上升。他们现在用的冷却方案，撑不住。”
一个博士问：“撑不住会怎样？”
“镜面镀膜层会热降解，反射率下降，光刻精度就废了。”
钱院士把粉笔放下，转过身，看着白板上那张画了两个月的光路图。
“他们量产不了。”
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