第1350章 光刻机(1 / 4)

七月十五号,华盛顿,美国商务部产业安全局。一份编号bis-2002-0715的文件签发。

文件抬头:致荷兰阿斯麦尔公司(asl)。

正文三十条,每一条都是技术限制。核心意思一句话:从即日起,停止向中华人民共和国出口任何型号的光刻机设备,包括已签订合同但尚未交付的订单。

三十条,写了十二页。每一条后面跟着一个法律依据——《出口管理条例》第几章第几节,《瓦森纳协定》附录几,写得密密麻麻。

七月十七号,消息传到京城。

李建国在煤市街坐了两个小时,把文件的影印件留在方桌上,走了。

张红旗把三十条从头看到尾,一条一条看的。看完,搁下,没说话。

七月二十号。

鹏城,中科院微电子所南方实验室。

钱院士的助手坐夜班飞机到京城,凌晨四点到的,没回酒店,直接打车到煤市街。

张红旗起得早,五点半就在院子里喝茶了。

助手递过来一份实验报告,三十七页。

张红旗翻到第十四页——红色标注的那一段。

“euv极紫外光源反射镜面镀膜实验。第四十七次试验,钼硅多层膜在六纳米波段反射率未达到百分之六十的最低要求,最高值百分之四十一点三。镀膜层在连续工作十二小时后出现微裂纹。判定:失败。”

助手站在旁边,没坐。

张红旗把报告合上:“钱老怎么说?”

“钱老说,镀膜的问题不是工艺问题,是材料问题。国内现有的高纯度钼靶材,纯度到不了百分之九十九点九九,差两个数量级。这个东西全世界只有三家能做,两家在德国,一家在日本。”

张红旗把报告放在桌上:“让钱老继续做,不要停。钱的事不用操心。”

助手走了。

七月二十二号。

荷兰,费尔德霍芬,asl总部。

ceo范德贝尔向全球四十七家媒体发出邀请函。

邀请内容:参观asl总部新落成的euv概念机研发中心。开放日:八月一号。

邀请函用的英文,a4纸,asl的蓝色logo印在左上角。

内容不长,但有一句话很有意思。

“we believe transparency is the foundation of trt our eu

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