该狂野乱窜的高频振荡项,在这些基底的正交性下被悄无声息地消去。
就像有一只手,从最底层的数学结构里,把湍流这只野兽按进了一个笼子。
主显示屏下方:
【曝光焦面偏差:-007n】
【迭层对准误差:011n】
【算法前馈响应时间:18μs】
011纳米的对准误差。
这个数字的意义,林伟看得懂,张默看得懂,舱里那十九个人都看得懂。
这已经是asl最新一代nxe系列euv光刻机的工程化水平。
而这,是一台浸没式duv。
是他们用一台物理原理上低一个代的机器,靠著一套算法,硬生生把光刻精度拉到了高一个代际的水平线上。
“第七次了。”
有人在林伟身后低声说了一句。
“前六次都成功了。”
“这是第七次验证。”
“贺老说,要连续成功十次以上,才能算是……稳定落地。”