一个月没有回过家了。
原因嘛……
自然是李东在华轩杯决赛卷子上留下的那个思路,虽然李东后续说没法落地,但是在李东看来无法解决的困难,在他们看来,只是比较麻烦而已。
放弃对浸没液温度的死控,转而通过定制化窄线宽可调谐arf雷射器,同步微调光源的真空波长来抵消折射率的波动,以此维持相位的绝对恒定!
这个思路,在光学理论上已经走通了。
至于算例瓶颈?
那只是因为,之前不值得去做而已,不然这个瓶颈早不在了。
就在这时,一个组员突然从工位上跳了起来,手里抓着一叠列印出来的数据报告。
「组长!组长!」
「我们往前走了一步!真的走通了一步!」
张默转过头看着他。「说!」
「我们尝试放弃了实时全流域直接数值模拟,先通过大涡模拟完成全工况流场资料库构建。」
「再基于本征正交分解搭建了降阶预测模型,还在边界层贴近晶圆的微米级区域,加入了局部启发式流场修正算法!」
组员激动的指着数据曲线。
「结果显示,在额定扫描速度区间内,流热耦合带来的折射率场预测误差,被稳定控制在了光刻制程允许的容差范围内!」
「虽然只是个近似解,但前馈控制的响应延迟,已经被压缩到了理论上的300微秒!」
张默倒吸一口李东,感觉头皮一阵发麻。
「你算过没有?如果我们要彻底攻克这个算法瓶颈,把延迟压缩到 200微秒的量产硬指标以内,还需要多久?」
组员也冷静了下来,根据现实的数据反馈给出了一个评估。
「立刻落地肯定是不可能的,算力硬体和算法优化的缺口都在这里。」
「但是,只要按照现在这个大纲方向死磕,多砸点资源进去训练模型,大概一两年就可以解决。
对于半导体设备这种核心技术动辄以十年为研发周期的领域来说。
一两年就能完成从原理验证到量产落地,已经算得上是光速推进了。
听完这话张默感觉整个人都活过来了。
「好!非常好!你们继续跑数据,盯着模型收敛情况!」
张默一把抓起桌上的工作牌,离开了实验室。
一路快步来到顶层的总监办公室,张默敲了敲门。
「进。」