陈默笑了笑：「我刚在隔壁讲完气态锂，听说您在这儿，过来学习学习！」
闫涛南眼神里，闪过一丝复杂。
他对「橙子」这个名字，其实藏着一份特殊的情感。
无关橙子手机，而是源于橙科精密。
正是这家来自种花家的企业，为阿斯唛提供对准系统，一举将euv的良率拉高10。
其重要程度直逼北美yar的新光源与蔡斯新一代光学，让阿斯唛的euv光刻机，提前两年具备市场化量产能力。
「陈总客气了！橙科精密的产品，我们一直在用，k—pa10的零位漂移率进入实测之后，比我们预期的还要好！」
陈默点头：「闫博士，刚才您讲的光刻机国产化问题，我其实有一个不同的思路！」
闫涛南挑眉：「哦？愿闻其详！」
陈默看了看周围，而后笑着开口。
「如果不用一台机器，而用一套系统呢？」
闫涛南愣住了：「什么意思？」
陈默用手指在桌上画了一个圈。
「光刻机本质上，是一套极端精密的光学+机械+控制系统。
如果把它拆开
光源是一套，光学系统是一套，传动工件台是一套，对准系统是一套，辅助系统是一套。
每一套，都可以是一个独立的「光刻模块」。」
他擡起头，看着闫涛南。
「如果把这些模块，用工厂的方式串联起来，而不是集成在一台机器里呢？
比如，我完全可以做一个几百米长的光刻厂」，工件在轨道上移动，依次经过各个模块一光源模块、掩模模块、曝光模块、检测模块」
闫涛南的瞳孔微微收缩。
他张了张嘴，粗想之下居然觉得并非不可能，于是没有立刻反驳。
陈默继续说：「这样做的优势是，每个模块可以独立优化，独立升级。
而且，我不需要把几十吨重的机器做到纳米级稳定。
因为工件是移动的，模块是固定的，稳定性的要求会降低几个数量级。」
「当然，缺点也很明显
占地面积大，生产效率低，不适合大规模量产。
但是，如果只用来做关键晶片的批量试制，或者做特种晶片，这个方案完全可行！」
闫涛南沉默了很久。
他想起当年在台机电时，做过的一些实验性项目。